潔凈室氣流之流動
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產

生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因

此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等

之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將

發生的塵埃迅速排出室外。

潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選

0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混

亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運

轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以zui適當的風速供應，以

達到適當的風速供應以達到經濟性效果。
 

另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一

氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，

此時要實現高潔凈度事實上很困難。
 

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有速度上的差異；(b)

地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)

均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速

均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同

時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
 

一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3

之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶

走；若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流

至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污

染，良率也勢必降低。
 

潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔

凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少zui低；組裝材料之選擇

是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素